探針臺將晶圓或芯片固定在安裝在平臺上的卡盤(pán)上，該平臺允許將 DUT 定位在顯微鏡視野的中心。

機械手放置在平臺的平面上，并在機械手中插入探針臂和jian端。探頭jian端必須適合要執行的測試程序。然后，用戶(hù)通過(guò)調整相應的操縱器將探針jian端精確定位在設備內的正確位置。然后通過(guò)降低壓板使探針與晶片接觸；現在可以測試該設備。對于具有多個(gè)器件的晶圓，在測試第一個(gè)器件后，可以升起壓板并將支撐晶圓的平臺移動(dòng)到下一個(gè)器件。重復定位探針jian端的過(guò)程，直到測試完所有必需的設備。這個(gè)過(guò)程都可以由操作員手動(dòng)完成，但如果載物臺和機械手是電動(dòng)的，并且顯微鏡連接到計算機視覺(jué)系統，那么這個(gè)過(guò)程可以變成半自動(dòng)或全自動(dòng)。這可以提高探針臺的生產(chǎn)力和吞吐量，并減少運行多個(gè)測試所需的勞動(dòng)力。